一种中大型真空蒸镀机的深冷捕器.pdfVIP

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2023-04-12 发布于四川
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一种中大型真空蒸镀机的深冷捕器.pdf

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本申请提供一种中大型真空蒸镀机的深冷捕器，所述真空蒸镀机的主腔体的后壁与主阀连接固定，主腔体与主阀均为中空结构并且两者之间具有一个相通的排气通口，所述深冷捕器设置在真空蒸镀机的主阀内，深冷捕器位于主阀的连接部、设置在所述排气通口与主阀部之间，深冷捕器包括：管道和两个深冷接头，所述管道为一根螺旋向上盘绕的管道，管道内为流体冷媒，管道的进口端和出口端穿过主阀的连接部的底板与制冷器连接，进口端和出口端穿过深冷接头内部，深冷接头穿过连接部的底板，两个深冷接头起到固定和密封进口端和出口端的作用，管道的高度

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215560616 U (45)授权公告日 2022.01.18 (21)申请号 202122306831.X (22)申请日 2021.09.23 (73)专利权人苏州佑伦真空设备科技有限公司