一种基于MEMS结构的可调电容.pdfVIP

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2023-04-12 发布于四川
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一种基于MEMS结构的可调电容.pdf

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本实用新型涉及一种基于MEMS结构的可调电容，包括下极板A，活动极板B、上极板C、固定装置D和连接导体E，固定装置D的下端与下极板A固定连接，固定装置D的上端与上极板C固定连接，活动极板B的中部设置有配合固定装置D且能自由平行移动的结构B4,活动极板B通过结构B4固定在于固定装置D中部，并且活动极板B可沿固定装置D进行上下移动；下极板A上设置有下电极A1,活动极板B上设置有活动电极B1,调整电极B2；下电极A1与活动电极B1组成单元电容；上极板C上设置有上电极C1、调整电极C2；本实用新型不仅具

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215600243 U (45)授权公告日 2022.01.21 (21)申请号 202021591024.6 H01G 5/01 (2006.01)