半导体加工用定位器.pdfVIP

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2023-04-12 发布于四川
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半导体加工用定位器.pdf

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本实用新型公开了半导体加工用定位器，包括：加工台，加工台上安装有全自动红外线定位加工结构；全自动红外线定位加工结构包含有：一对定位驱动组件、固定安装组件以及加工组件；一对定位驱动组件其中一个包含有：驱动箱、安装腔、一对伺服驱动电机、一对安装隔板、一对第一旋转轴承、螺旋丝杠以及移动块；本实用新型涉及半导体加工设备技术领域，本案的有益效果为：解决了现有的半导体生产用定位设备结构简单，需要人员手动使用镊子进行芯片的放置及辅助固定，定位精度低，加工中易出现位置窜动的现象，造成生产失败，增加生产成本，影响

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215578480 U (45)授权公告日 2022.01.18 (21)申请号 202121815831.6 (22)申请日 2021.08.04 (73)专利权人山东省半导体研究所