微机械超声换能器以及电子系统.pdfVIP

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2023-04-13 发布于四川
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微机械超声换能器以及电子系统.pdf

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本公开的实施例涉及微机械超声换能器以及电子系统。一种微机械超声换能器，包括：膜元件，配置为发射或接收超声波，在超声波的发射或接收期间，膜元件以谐振频率关于平衡位置振荡，膜元件的平衡位置根据施加到膜元件的偏置电信号而可变化；以及帽结构，覆盖膜元件，帽结构在帽结构与膜元件之间形成腔体，腔体的体积根据膜元件的平衡位置而可变化，帽结构包括开口，开口被配置为将超声波输入腔体中或从腔体输出超声波，帽结构和膜元件用作可调谐的亥姆霍兹谐振器，在可调谐的亥姆霍兹谐振器中，谐振频率根据腔体的体积而可变化。利用本公开

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215612944 U (45)授权公告日 2022.01.25 (21)申请号 202023006016.3 (22)申请日 2020.12.14 (30)优先权数据 102019000