法-珀腔阵列、光谱探测仪、光谱探测系统及终端设备.pdfVIP

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2023-04-13 发布于四川
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法-珀腔阵列、光谱探测仪、光谱探测系统及终端设备.pdf

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本实用新型提供的法‑珀腔阵列、光谱探测仪、光谱探测系统及终端设备，所述法‑珀腔阵列包括具有第一阶梯的第一元件和具有第二阶梯的第二元件，所述第一阶梯、第二阶梯为二维台阶结构；所述第一元件的第一阶梯侧与第二元件的第二阶梯侧相对设置，且第一阶梯的阶梯高度变化方向与第二阶梯的阶梯高度变化方向不同；所述第一阶梯和第二阶梯的台阶表面镀设反射膜；即本实用新型实施例通过将两个具有二维台阶结构的元件进行贴合，形成三维台阶结构的法‑珀腔阵列，结构简单，容易加工实现。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215639774 U (45)授权公告日 2022.01.25 (21)申请号 202120577345.9 (22)申请日 2021.03.22 (73)专利权人南京微纳科技研究院有限公司