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一种有机无机混合集成的聚合物温度传感器及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-04-13 发布于四川
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一种有机无机混合集成的聚合物温度传感器及其制备方法.pdf

    一种有机无机混合集成的聚合物温度传感器及其制备方法，属于聚合物光波导温度传感器技术领域。由硅衬底、在硅衬底上制备的二氧化硅下包层、在二氧化硅下包层上制备的掺锗的二氧化硅芯层波导、在二氧化硅下包层上制备的掺硼和磷的二氧化硅上包层、在掺硼和磷的二氧化硅上包层上制备的聚合物芯层波导、在掺硼和磷的二氧化硅上包层上及聚合物芯层波导上制备的聚合物包层组成。当温度发生变化时，二氧化硅的热光系数为正，聚合物的热光系数为负，二氧化硅芯层的折射率会增大，聚合物芯层的折射率会减小，折射率的改变会使得原本的相位差进一步

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113532493 A (43)申请公布日 2021.10.22 (21)申请号 202110842630.3 (22)申请日 2021.07.26 (71)申请人 吉林大学 地址 13

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