一种环境沉积反应设备.pdfVIP

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2023-04-14 发布于北京
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一种环境沉积反应设备.pdf

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本实用新型涉及一种环境沉积反应设备，包括反应舱体，在反应舱体内设置加热装置、蒸发源装置和传输装置，加热装置包括上加热组件和下加热组件，上加热组件包括上加热件和上导热板，下加热组件包括下加热件和下导热板，上加热件固定在反应舱体的顶盖上且位于上导热板的上方，下加热件固定在反应舱体的底盘上且位于下导热板的下方，传输装置包括滚轴和设置在滚轴上的两个托辊，在两个托辊上分别设置有限位边，基片放置在两个托辊的限位边之间被输送，在相邻的两个滚轴之间分别间隔地设置下导热板和蒸发源装置，上导热板位于滚轴、下导热板和

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215668181 U (45)授权公告日 2022.01.28 (21)申请号 202121281064.5 (22)申请日 2021.06.09 (73)专利权人衢州纤纳新能源科技有限公司