高纯流体介质增压装置.pdfVIP

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2023-04-14 发布于北京
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高纯流体介质增压装置.pdf

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一种高纯气体的增压装置，包括制冷系统、载冷剂储罐及循环系统、高纯介质通路和液体增压泵，高纯气体进入本实用新型增压装置后，首先被输出介质冷却，然后被制冷系统进一步冷却，确保液化及一定的过冷度，防止齿轮泵工作过程出现气蚀，增压后的高纯液体介质被输入介质加热气化，气化过程压力不变，实现了气体介质的增压。本实用新型把液体增压泵的应用范围从液体扩展到气体，可以获得大流量高压力的气体。本实用新型使用方便，寿命长，适用于高纯气体的增压场合。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215672697 U (45)授权公告日 2022.01.28 (21)申请号 202121671257.1 (22)申请日 2021.07.22 (73)专利权人上