一种半导体加工用废水收集装置.pdfVIP

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  • 2023-04-14 发布于四川
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本实用新型涉及半导体领域,具体为一种半导体加工用废水收集装置,括收集箱,所述收集箱包括收集槽、进水管以及排水管,所述进水管位于收集箱的顶部,且贯穿收集箱延伸至收集槽内,通过进水管将半导体废水导入收集箱内,首先经过微滤膜过滤层内的微滤膜将废水中的颗粒进行过滤,之后通过活性碳过滤层中活性碳过滤网将废水中异味以及杂志进一步清理,提高过滤效果,并去除废水中的腐蚀性之后废水流入集水槽内进行集水,并通过反渗透层防止集水槽内的水向活性碳过滤层内反向渗透,集水槽内设有电解器,电解器通过电解机启动,对集水槽内的水

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215667379 U (45)授权公告日 2022.01.28 (21)申请号 202023089078.5 (22)申请日 2020.12.18 (73)专利权人 广州市鸿浩光电半导体有限公司

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