微机电膜换能器.pdfVIP

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2023-04-14 发布于北京
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微机电膜换能器.pdf

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公开了微机电膜换能器。微机电膜换能器包括：支撑结构；腔，在支撑结构中；膜，耦合到支撑结构以便在一侧覆盖腔；悬臂阻尼器，围绕膜的周边被固定到支撑结构，并且在距膜一定距离处朝向膜的内部而延伸；以及阻尼器压电致动器，被布置在悬臂阻尼器上并且被配置以便响应于电致动信号而将悬臂阻尼器朝向膜弯曲。本公开实施例的微机电膜换能器克服或减轻了微机电膜换能器在传输模式和接收模式之间切换时膜的振荡的阻尼时间所造成的限制。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215682159 U (45)授权公告日 2022.01.28 (21)申请号 202121386354.6 (22)申请日 2021.06.22 (30)优先权数据