一种碳化硅单晶的精密控制温度装置.pdfVIP

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  • 2023-04-14 发布于四川
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一种碳化硅单晶的精密控制温度装置.pdf

本实用新型为一种碳化硅单晶的精密控制温度装置,包括箱体,所述箱体内设置有空腔,所述空腔内固定有工作台,所述工作台上固定有支架,所述支架上固定有电动伸缩杆,所述转盘上设置有凸缘,所述凸缘上固定有第二温度传感器,所述箱体上固定有控制器,所述控制器与所述第一温度传感器连接,所述控制器与所述温度传感器连接,所述空腔内固定有加热板,所述加热板与所述控制器连接,该碳化硅单晶的精密控制温度装置,随时碳化硅单晶制造可以起到精确的温度控制,有利于碳化硅单晶的生产制造,同时在对碳化硅单晶磨削时,方便对碳化硅单晶进行

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215659517 U (45)授权公告日 2022.01.28 (21)申请号 202022989189.5 B24B 55/00 (2006.01) (22)申请日 2

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