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一种化学气相渗透法用工装.pdfVIP

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  • 2023-04-15 发布于四川
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一种化学气相渗透法用工装.pdf

    本发明公开了一种化学气相渗透法用工装，适用于小尺寸圆筒状制备使用，包括底座及布气盘，所述底座的底面中心位置设有通孔作为进气口；所述布气盘安装在底座的内腔内；所述布气盘上布设有圆筒状预制体和套装在圆筒状预制体外侧的外限导流筒，所述外限导流筒与预制件外壁面之间均设有宽度为5‑10mm的狭缝，所述布气盘对应圆筒状预制体的中空结构位置设有气体通道，所述布气盘对应狭缝位置均设有若干个气体通道，前驱体气体经底座、布气盘将前驱体气流仅限制在预制体圆筒内侧和外侧，气体不会进入高温炉体内其他区域，提高前驱体气体利

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215713361 U (45)授权公告日 2022.02.01 (21)申请号 202121705991.5 (22)申请日 2021.07.26 (73)专利权人 巩义市泛锐熠辉复合材料有限公

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