原创力文档- 6
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- 2023-04-15 发布于四川
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本实用新型的PinHole晶圆检测机的自动检查装置，其包括：载台；定位单元，其包括定位组件和夹持组件，其中定位组件形成有与晶圆相匹配的晶圆定位区，夹持组件包括绕晶圆定位区的中心分布的多个夹持模块、及驱动多个夹持模块沿着晶圆径向相对收拢或张开的动力件；检查摄像头，其设置在晶圆定位区的上方；驱动单元，其与定位单元或检查摄像头相连接设置，并用于驱使晶圆定位区和检查摄像头中的一个相对另一个移动。本实用新型一方面实现检查范围覆盖整个晶圆，避免人工检查出现的疏漏问题，有效提高检查准确度，检查效率高，劳动强度
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215680615 U
(45)授权公告日 2022.01.28
(21)申请号 202122420401.0
(22)申请日 2021.10.08
(73)专利权人 苏州新尚思自动化设备有限公司
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