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静电卡盘装置及半导体处理设备.pdfVIP

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  • 2023-04-15 发布于四川
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静电卡盘装置及半导体处理设备.pdf

    本实用新型实施例提供了一种静电卡盘装置及半导体处理设备，其中，静电卡盘装置包括：晶圆载置部，用于载置晶圆；第一温度调节部，位于所述晶圆载置部的内部或下方，用于向所述晶圆载置部施加热量或从所述晶圆载置部吸收热量；其中，所述第一温度调节部通电时能够同时产生加热和制冷的两面。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215731640 U (45)授权公告日 2022.02.01 (21)申请号 202121635275.4 (22)申请日 2021.07.16 (73)专利权人 长江存储科技有限责任公司

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