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- 2023-04-15 发布于四川
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本实用新型申请涉及一种Mini/MicroLED芯片转移装置和系统，Mini/MicroLED芯片转移系统包括：抽真空泵，用以抽真空使转移头产生吸附力；储气罐，用以通气使转移头停止吸附芯片；电子阀门，用以控制抽气和通气的开关；控制模块，用以控制所述电子阀门，进而控制Mini/MicroLED芯片转移装置的气体进出和移动；一种Mini/MicroLED芯片转移装置；所述抽真空泵、所述储气罐与所述控制模块相连，分别通过所述电子阀门控制所述抽真空泵、所述储气罐的开关，所述控制模块与所述芯片转移
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215731721 U
(45)授权公告日 2022.02.01
(21)申请号 202120343087.8
(22)申请日 2021.02.05
(73)专利权人 深圳市奥拓电子股份有限公司
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