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- 2023-04-15 发布于四川
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本实用新型涉及金属切削刀具和工模具涂层技术领域,且公开了一种用于金属切削刀具和工模具涂层的CVD涂层设备,包括控制主体、楼梯、中和站、冷凝阱支架、平台板支架、第一导轨、第二导轨、废弃排放管与气体通道,所述控制主体包含有第一电控柜、第二电控柜、气体柜与液体柜,本实用新型通过冷却罩可减少反应腔体的热辐射,减少周围部件的热辐射和老化速度,集成转运升降机配合,提高反应腔体的提升和移动速度及精度,冷凝阱可以对废气进行降温,将气态废气冷凝至固态存放在冷凝阱内,减少中和站的中和负担,中和站可以对酸性废气进行中
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215668197 U
(45)授权公告日 2022.01.28
(21)申请号 202122335603.5
(22)申请日 2021.09.26
(73)专利权人 常州艾恩希纳米镀膜科技有限公
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