原创力文档- 2
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- 2023-04-15 发布于四川
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本实用新型公开了一种三枪蒸发式镀膜室，涉及镀膜机技术领域。本实用新型包括箱体，箱体内顶部设有工件架，箱体内底部两侧分别设有第一坩埚和第二坩埚，箱体内中后侧设有第三坩埚，工件架包括转盘和外导轨，转盘底部呈环状间隔均匀固定有若干V形板，V形板远离转盘一端通过轴承转动连接有轴体，轴体位于V形板内侧一端固定有工件伞盘，轴体另一端固定有导轮。本实用新型通过设置多个可整体转动和各自转动工件伞盘，能够在有限的空间内增加工件的数量，同时提高工件的运动范围，从而提高镀膜效率，同时在镀膜室底部设置三个类型各不相同的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215713332 U
(45)授权公告日 2022.02.01
(21)申请号 202121534710.4
(22)申请日 2021.07.07
(73)专利权人 江苏索腾真空科技有限公司
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