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- 2023-04-15 发布于四川
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磁控溅射生产线扩散泵连接系统，包括镀膜空间连接装置和机械泵连接装置；所述镀膜空间连接装置包括第一连接通道；第一连接通道设置为中空圆柱体结构；第一连接通道的一端与镀膜空间连通；第一连接通道的另外一端连接设置有与第一连接通道垂直连接的第二连接通道；本申请所述的磁控溅射生产线扩散泵连接系统解决了现有镀膜过程中抽真空效率低的问题，同时减少了油气反吸对镀膜材料的损害，提高了镀膜品质，提升了设备使用寿命。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215713351 U
(45)授权公告日 2022.02.01
(21)申请号 202121560684.2
(22)申请日 2021.07.09
(73)专利权人 大理星球太阳能科技开发有限公
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