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本实用新型涉及惰性气体提纯技术领域，提出了一种惰性气体提纯装置，包括：壳体，壳体具有真空腔体，真空腔体的壁面上设置有吸气剂；放电部，放电部设置在真空腔体内；电源，电源的一端连接壳体，电源的另一端连接放电部；其中，壳体上设置有进气通道和出气通道，进气通道和出气通道均与真空腔体相连通，惰性气体通过进气通道排入真空腔体，并由出气通道排出真空腔体。惰性气体在放电过程中被电离产生等离子体，利用等离子体中高密度的正、负带电离子的轰击和活化作用，使附着在吸气剂表层的气体分子和原子重新获得足够的能量，吸气剂再次
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215692943 U
(45)授权公告日 2022.02.01
(21)申请号 202121319900.4
(22)申请日 2021.06.11
(73)专利权人 中山凯旋真空科技股份有限公司
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