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- 2023-04-15 发布于四川
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本实用新型提供一种MEMS谐振器的检测电路。所述检测电路包括：MEMS谐振器；电荷放大器，其输出端输出谐振感应信号；整流器，用于将所述谐振感应信号中的负值部分翻转或斩断得到整流后的谐振感应信号；积分器，其被配置的以设定积分时间为周期对整流后的谐振感应信号进行积分；采样电路，采样所述积分器的输出得到积分采样值；比较器，其得到数字方波信号；计数器，其以数字方波信号的预定跳变沿为触发信号进行计数，单位时间的计数值记为N1；处理单元，其根据计数值N1和单位时间计算获得自然谐振频率F0，根据自然谐振频率F
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215728495 U
(45)授权公告日 2022.02.01
(21)申请号 202121679883.5
(22)申请日 2021.07.22
(73)专利权人 美新半导体（天津）有限公司
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