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- 2023-04-15 发布于四川
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本实用新型公开一种用于晶圆扫描的喷嘴及扫描系统，该喷嘴包括喷嘴体(11)和液管(12)；所述喷嘴体(11)具有中部容腔，液管(12)插装在所述喷嘴体(11)中，并穿过所述中部容腔，以在所述喷嘴体(11)的一侧端部抽吸、送出扫描液；所述喷嘴体(11)上开设有与所述中部容腔连通的出气口(1111)，所述喷嘴体(11)的一侧端部开设有与所述中部容腔连通的多个进气通道(1121)，且周向均布在所述液管(12)的外周，每个所述进气通道(1121)沿所述液管(12)的延伸方向设置。本实用新型通过对喷嘴结构的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215726865 U
(45)授权公告日 2022.02.01
(21)申请号 202121632606.9
(22)申请日 2021.07.16
(73)专利权人 江苏鲁汶仪器有限公司
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