一种用于半导体加工送料的输送机构.pdfVIP

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  • 2023-04-15 发布于四川
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一种用于半导体加工送料的输送机构.pdf

本实用新型公开了一种用于半导体加工送料的输送机构,输送组件包括多个等间隙线性排列的输送隔板,相邻的输送隔板相向排列且结构对称,输送隔板的一侧通过螺钉固定连接有固定导轨,在输送隔板上并位于固定导轨的两端对称转接有从动轮,在输送隔板上并位于固定导轨的下方通过螺钉固定连接有驱动电机,驱动电机的输出轴穿设过输送隔板且输出轴上套设有驱动轮,驱动轮和从动轮上套设有传送带,传送带与固定导轨的一侧抵接或保持有间隙,在输送隔板的顶端扣设有导向码,导向码面向固定导轨的一侧为斜面,导向码通过开设于其上的螺纹孔与输送隔

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215709320 U (45)授权公告日 2022.02.01 (21)申请号 202121496875.7 (22)申请日 2021.07.02 (73)专利权人 深圳市科美通电子设备有限公司

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