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- 2023-04-15 发布于四川
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本实用新型公开了一种自动化半导体输入中转设备，主体柜上呈线性排列有多个升降料盒，升降料盒的一端对应排列有多个输入导轨，在输入导轨上设有与主体柜可拆卸连接并用于驱动半导体物料至升降料盒内的驱动组件，驱动组件包括支撑框架、Z轴气缸、固定座、无杆气缸和直角推杆，支撑框架通过螺钉固定在主体柜上并位于输入导轨上方，Z轴气缸通过螺钉固定连接在支撑框架上，Z轴气缸的输出活塞杆与固定座通过螺钉固定连接，无杆气缸设于固定座背离Z轴气缸的一侧，直角推杆与无杆气缸的缸体滑块固定连接。本实用新型便于设备自动化上料，无人
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215709455 U
(45)授权公告日 2022.02.01
(21)申请号 202121498256.1
(22)申请日 2021.07.02
(73)专利权人 深圳市科美通电子设备有限公司
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