原创力文档- 3
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- 2023-04-15 发布于四川
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本实用新型揭示了一种快速进样腔，包含一个进样腔主体，进样腔主体由一段主体段及多段连接段组合焊接而成，主体段沿垂直方向设置，多段连接段分别设置于主体段的外周侧且连接段与主体段之间均保持垂直角度设置；进样腔主体上分别连接有用于腔体抽真空的分子泵、用于实现样品进样的进样法兰、用于实现样品转移的磁力杆以及用于腔体破真空的泄压阀。本实用新型在腔体结构设计上全部使用垂直方向的焊接连接且焊缝之间无重叠，大大简化了腔体结构、降低了腔体的制造工艺难度和制造成本，为其后续的大规模推广应用奠定了基础。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215709823 U
(45)授权公告日 2022.02.01
(21)申请号 202121683139.2
(22)申请日 2021.07.23
(73)专利权人 苏州华杨科学仪器有限公司
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