一种石英坩埚自动清洗线.pdfVIP

  • 10
  • 0
  • 约1.34万字
  • 约 11页
  • 2023-04-15 发布于四川
  • 举报
本实用新型提供了一种石英坩埚自动清洗线,包括预清洗单元、酸洗单元、高压清洗单元、静置单元、烘烤单元和冷却单元,所述预清洗单元包括预清洗壳体,预清洗壳体内部开设有通道,通道为长方体结构,通道用于传送石英坩埚,预清洗壳体一侧依次连通至酸洗单元、高压清洗单元、静置单元、烘烤单元和冷却单元。本实用新型所述的一种石英坩埚自动清洗线,设计合理,设有多个清洗单元,其预清洗单元满足坩埚传输清洗,坩埚进入预清洗单元,上下喷嘴可以同时对坩埚内外表面进行清洗,主要目的除去内外表面浮砂,保证清洗无死角;而且预清洗单元设

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215656717 U (45)授权公告日 2022.01.28 (21)申请号 202122369396.5 (22)申请日 2021.09.28 (73)专利权人 天津必利优科技发展有限公司

文档评论(0)

1亿VIP精品文档

相关文档