原创力文档- 2
- 0
- 约7.3千字
- 约 7页
- 2023-04-15 发布于四川
- 举报
一种半导体电学性能测试装置，属于半导体性能测试技术领域，该测试装置，包括定位卡盘及其周向设置的多个导向夹紧装置，定位卡盘上吸附定位有晶圆，导向夹紧装置包括夹紧杆，多个夹紧杆弹性夹紧晶圆的外侧后形成接触电极，晶圆上方一段距离处设置探针，本实用新型的有益效果是，该测试装置结构简单、操作方便，兼容多种半导体晶圆尺寸，适用于含导电及绝缘衬底的半导体，可避免接触半导体表面，减少了半导体表面沾污，提高了良率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215728597 U
(45)授权公告日 2022.02.01
(21)申请号 202121882807.4
(22)申请日 2021.08.12
(73)专利权人 芜湖启迪半导体有限公司
您可能关注的文档
- 一种辅助绳索装药装置.pdf
- 一种修复螺纹钢轧机轧辊的加工装置.pdf
- 一种PC钢棒用抓取设备.pdf
- 一种用于钳子加工的精准定位调整结构.pdf
- 一种斜口钳两面刃口加工设备.pdf
- 一种用于提取生物碱的浓缩冷却器.pdf
- 一种自动化配电系统.pdf
- 便于调节的瑶族图案显示播放台.pdf
- 瑶族织锦图案数字化展示架.pdf
- 一种高精度的水泵泵体铸件用热处理装置.pdf
- 2026年艺术行业人才发展报告.docx
- 2026年生物科技行业供应链多元化与备选供应商策略分析.docx
- 2026上海市就业援藏事业单位专项招聘9人备考题库及答案详解参考.docx
- 2026甘肃庆阳宁县第二人民医院招聘专业技术人员7人备考试题.docx
- 成功创业者访谈录之创业路径探索.docx
- 中国弧形玻璃行业市场发展前景及发展趋势与投资战略研究报告.docx
- 压水堆核电厂用碳钢和低合金钢 第32部分：安全壳 标准立项发展报告.docx
- 北京市第五十五中学招聘备考题库完整参考答案详解.docx
- 2026-2027学年初中地理七年级下册（新教材）湘教版（新教材）教学设计合集.docx
- 2026年食品饮料行业消费趋势分析报告.docx
文档评论（0）