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晶圆运输推车.pdfVIP

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  • 2023-04-15 发布于四川
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晶圆运输推车.pdf

    本实用新型提供了一种晶圆运输推车，包括：至少一层搁置板，搁置板的横截面呈方形，并且具有四条边和四个角，搁置板用于搁置晶圆盒；四个支撑柱，分别安装在搁置板的四个角上，以支撑搁置板；四个滚轮，分别安装在四个支撑柱的底部；一个可移动挡板，安装在搁置板的第一边上，放置晶圆盒或者取出晶圆盒时，可移动挡板打开，移动晶圆盒时，可移动挡板关闭，此时，可移动挡板垂直搁置板的表面并与第一边两侧的支撑柱活动连接；以及三个固定挡板，分别安装在搁置板的另三个边上并与所在边两侧的支撑柱固定连接，固定挡板与搁置板的表面垂直。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215663536 U (45)授权公告日 2022.01.28 (21)申请号 202122157803.6 (22)申请日 2021.09.07 (73)专利权人 广州粤芯半导体技术有限公司

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