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用于处理基板的系统.pdfVIP

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  • 2023-04-15 发布于四川
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用于处理基板的系统.pdf

    一般来说，本说明书所述的实例关于用于处理基板的系统，且更具体地关于用于从基板的边缘去除边缘珠粒或其他污染源。一个实例是处理系统，该处理系统包括腔室、腔室内的基板处置器以及腔室内的辐射产生器。基板处置器经配置固定基板。基板处置器可操作以将基板的边缘表面定位，使得来自辐射产生器传播的辐射被引导到基板的边缘表面，且基板处置器可操作以将基板的沉积表面的周边区域定位，使得来自辐射产生器传播的辐射被引导到周边区域，该周边区域垂直于边缘表面且沿着边缘表面。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215731596 U (45)授权公告日 2022.02.01 (21)申请号 201990001009.0 (74)专利代理机构 北京律诚同业知识产权代理

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