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一种用于真空环境的小直径加热装置.pdfVIP

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  • 2023-04-16 发布于四川
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一种用于真空环境的小直径加热装置.pdf

    本实用新型提供了一种用于真空环境的小直径加热装置，其特征在于：所述加热装置包括加热主体、密封固定件、密封转接件，所述加热主体包括导热外壳、设置在导热外壳内的加热管、设置在导热外壳内的控温热电偶、设置在导热外壳表面的测温热电偶，所述导热外壳内填充有导热材料，所述导热外壳的一端封闭，导热外壳的另一端密封设置有密封固定件，所述加热管、控温热电偶从密封固定件引出后穿过密封转接件，所述加热管和控温热电偶与密封固定件密封连接，且与密封转接件密封连接，所述测温热电偶穿过密封转接件，并与密封转接件密封连接，所述

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215731615 U (45)授权公告日 2022.02.01 (21)申请号 202122193745.2 (22)申请日 2021.09.09 (73)专利权人 靖江先锋半导体科技有限公司

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