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一种光刻胶收集杯清洗装置.pdfVIP

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  • 2023-04-16 发布于四川
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一种光刻胶收集杯清洗装置.pdf

    本实用新型属于半导体技术领域，公开了一种光刻胶收集杯清洗装置，包括可旋转的旋转台、清洗盘和喷嘴；清洗盘设置在旋转台上，旋转台旋转时带动清洗盘转动，清洗盘内设有通道，所述清洗盘的侧壁沿转动方向设有多个通孔，所述清洗盘的底部沿转动方向设有多个斜孔，所述斜孔的底部出口朝向所述清洗盘的外侧倾斜，所述通孔和所述斜孔分别与所述通道连通；喷嘴设置在所述清洗盘的下方，用于向所述通道内喷射清洗液。本实用新型通过在清洗盘的侧面设置用于喷射清洗液的通孔，同时在清洗盘的底部设置用于喷射清洗液的斜孔，可实现在收集杯的不同

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215696561 U (45)授权公告日 2022.02.01 (21)申请号 202122199116.0 (22)申请日 2021.09.10 (73)专利权人 上海众鸿电子科技有限公司

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