一种石墨舟托盘、石墨舟和管式PECVD设备.pdfVIP

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2023-04-16 发布于四川
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一种石墨舟托盘、石墨舟和管式PECVD设备.pdf

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本实用新型公开了一种石墨舟托盘、石墨舟和管式PECVD设备，该托盘包括托盘底板和用于支撑石墨舟的支撑机构，支撑机构包括至少两个支架和至少一个防抖机构，支架设于托盘底板的两端，防抖机构设于托盘底板的中部。石墨舟包括舟片和用于支撑舟片的托盘。本实用新型石墨舟托盘，通过在托盘底板上增加具有随动、防抖功能的支撑机构，不仅能够减少石墨舟在横向和竖向运动过程中的抖动，而且能够增强石墨舟的横向和竖向运动刚度，减少了石墨舟的变形，具有整体刚度高、防抖效果好等优点，在保证石墨舟与硅片紧密贴合的前提下，有效减少翘片

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215757606 U (45)授权公告日 2022.02.08 (21)申请号 202121504398.4 (22)申请日 2021.07.01 (73)专利权人湖南红太阳光电科技有限公司