一种蚀刻喷淋均压装置.pdfVIP

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2023-04-16 发布于四川
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一种蚀刻喷淋均压装置.pdf

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本实用新型公开了一种蚀刻喷淋均压装置，包括：均压体，均压体上设有第一均压腔、第二均压腔、第三均压腔、至少一个连通第一均压腔内部与外部的进液口、多个与第一均压腔和第二均压腔连通的第一出液口、多个与第二均压腔和第三均压腔连通的第二出液口、多个连通第三均压腔内部与外部的第三出液口，进液口与第一出液口错开设置，多个第二出液口与多个第一出液口对应错开设置，多个第三出液口与多个第二出液口对应错开设置，第三出液口均连接有喷咀，采用上述技术方案，通过多次分流及均压可以充分保证每个喷咀的喷压一致，喷液量一致，作用

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215713388 U (45)授权公告日 2022.02.01 (21)申请号 202122093726.2 (22)申请日 2021.08.31 (73)专利权人深圳市宇通瑞特科技有限公司