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一种单晶炉加料系统.pdfVIP

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  • 2023-04-16 发布于四川
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一种单晶炉加料系统.pdf

    本实用新型提供了一种单晶炉加料系统，包括加料机、加料机定位装置、波纹管及波纹管连接机构，其中：加料机上设置有出料口，出料口处设置有向外伸出出料口的加料槽；加料机支撑在加料机定位装置上，加料机定位装置用于实施对加料机的位置调整及定位；波纹管的头部设置有波纹管头部法兰，波纹管的尾部设置有波纹管尾部法兰，其中，波纹管尾部法兰连接在加料机的出料口上；波纹管连接机构用于将波纹管头部法兰连接至单晶炉加料口法兰上，加料机的加料槽穿过波纹管后将硅料加入至单晶炉内。本实用新型提供的单晶炉加料系统，加料机支撑、定位

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215713521 U (45)授权公告日 2022.02.01 (21)申请号 202122189713.5 (22)申请日 2021.09.10 (73)专利权人 无锡松瓷机电有限公司

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