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- 2023-04-16 发布于四川
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本实用新型涉及真空镀膜、刻蚀、热工艺处理等技术领域，尤其是一种工件夹具搬送机构，其特征在于：包括升降模组、交换臂、旋转模组，其中所述交换臂设置在所述升降模组上并可在所述升降模组的驱动下升降，所述旋转模组用于驱动安装在所述升降模组上的所述交换臂旋转，所述交换臂上具有与所述工件夹具相吻合适配的对接部。本实用新型的优点是：实现工件的快速搬送，搬送效率高；保证工件在搬送过程中稳定可靠，尤其是不易产生粉尘，适合真空系统的搬送需求；结构简单合理，使用方便，可根据不同类型或不同型尺寸的工件的装载要求进行快速设
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215713354 U
(45)授权公告日 2022.02.01
(21)申请号 202122164561.3
(22)申请日 2021.09.08
(73)专利权人 光驰科技（上海）有限公司
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