原创力文档- 0
- 0
- 约7.44千字
- 约 8页
- 2023-04-16 发布于四川
- 举报
本实用新型公开了一种耐高温晶圆盒，涉及到晶圆存储领域，包括两个固定座，两个所述固定座的两侧均安装有固定板，对应的两个所述固定板相对的一侧安装有侧板，两个所述侧板相对的一侧均开有多个第一卡槽，两个所述固定座相对的一侧靠近两端的位置均安装有卡杆，两个所述卡杆的顶部外壁上均开有多个第二卡槽，所述第二卡槽的数量与所述第一卡槽的数量相同，两个所述侧板的一侧开有多个散热孔。本实用新型通过设置第一卡槽、卡杆和第二卡槽，利用两侧的第一卡槽和第二卡槽一同夹持晶圆，利用三点定位进行固定，保证晶圆夹持的稳定，不易受到
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215731620 U
(45)授权公告日 2022.02.01
(21)申请号 202122121766.3
(22)申请日 2021.09.03
(73)专利权人 昆山英博尔电子科技有限公司
您可能关注的文档
- 一种基工业可挥发性有机污染物防治设备.pdf
- 一种带高度调节的水环境监测装置.pdf
- 一种非球面光学元器件抛光装置.pdf
- 一种附柜格子的主机收纳装置.pdf
- 一种便于净化生活废水的污水处理装置.pdf
- 一种用于家具加工的自动封边机.pdf
- 一种环境监测用样品储存装置.pdf
- 一种带保温机构的锁风阀.pdf
- 一种车载撬装加油机用LED防爆灯.pdf
- 一种低成本LED灯驱动电路.pdf
- CN120163813A 一种恶劣环境输电线路缺陷检测方法、系统、设备及介质 （中国电力科学研究院有限公司）.pdf
- CN120167923A 一种无线便携式生命体征测量方法及系统 （中国人民解放军总医院第八医学中心）.pdf
- CN120162323A 一种基于数据血缘的数据治理方法、装置及电子设备 （企知道科技有限公司）.pdf
- CN120164072A 基于差分多尺度融合的广义少样本目标检测方法 （中国人民解放军国防科技大学）.pdf
- CN120168857A 一种用于镇痛的三维电场耦合建模方法 （中国人民解放军海军军医大学第一附属医院）.pdf
- CN120164114A 水利勘测用地面点的提取优化方法及系统 （江苏省工程勘测研究院有限责任公司）.pdf
- CN120175454A 一种船舶氨发动机主被动双级scr后处理的氨喷射控制系统及方法 （浙江大学）.pdf
- CN120175506A 一种甲醇双燃料发动机甲醇喷射控制装置及方法 （中船动力研究院有限公司）.pdf
- CN120177154A 一种黄曲霉毒素检测的样品制备自动化前处理装置 （中国农业大学）.pdf
- CN120177071A 驾驶转向机器人的期间核查方法 （宁波路特斯机器人有限公司）.pdf
最近下载
- 发电机的安全运行极限与PQ曲线.ppt VIP
- 《海上风电工程施工监理规范》编制说明.pdf VIP
- 早产儿系统化管理，早、中、后期管理及出院后随访.pptx VIP
- 医疗设备售后服务方案.pdf
- DLT 5210.4-2018 电力建设施工质量验收规程 第4部分：热工仪表及控制装置.docx
- 2025广东粤电惠新热电有限公司招聘15人笔试历年典型考点题库附带答案详解.docx VIP
- 2025年下半年幼儿保教知识与能力真题及答案.docx VIP
- 高中物理公式大全（推荐）.pdf VIP
- 浙教版数学七年级上册全册优质课件.pptx VIP
- 四川天钧动力电池包精密结构件生产线设备数控化升级改造项目环境影响报告表.doc VIP
文档评论（0）