一种冷却可控的碳化硅单晶生长装置.pdfVIP

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2023-04-16 发布于四川
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一种冷却可控的碳化硅单晶生长装置.pdf

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本实用新型公开了一种冷却可控的碳化硅单晶生长装置，属于碳化硅晶体技术领域；包括晶体生长室，晶体生长室设置有冷却风箱，冷却风箱的送风风腔通过送风管道连接有风冷控制装置，冷却风箱的出风口通过排风管道与风冷控制装置的进风口相连接；风冷控制装置包括热交换器，热交换器连接有水冷循环装置；热交换器的气体管路上连接有过滤器；风冷控制装置的进风口连接有风机；本实用新型通过对送回风温度和流量控制，实现对生长热场的有效温度调节，利于工艺调整，提高了对冷却效果的控制能力和对工艺过程的配合能力。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215713525 U (45)授权公告日 2022.02.01 (21)申请号 202122399065.6 (22)申请日 2021.09.30 (73)专利权人山西烁科晶体有限公司