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2023-04-16 发布于四川
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本实用新型实施例提供一种真空室，涉及半导体制程技术领域。真空室包括框体、门板、传动组件、步进电机和控制器，框体内具有真空腔，框体的一侧开设有与真空腔连通的入口；门板滑动连接在入口；传动组件的一端连接到门板；步进电机连接在传动组件的另一端；控制器与步进电机电连接，控制器用于控制步进电机驱动门板打开或关闭入口。真空室能够通过步进电机精确控制门板开关的速度和位置，降低门板与框体的撞击力度，减少震动，减少颗粒杂质的产生，提高产品的良率。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215761149 U (45)授权公告日 2022.02.08 (21)申请号 202120444633.7 (22)申请日 2021.03.01 (73)专利权人泉芯集成电路制造(济南)有限公