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一种可调节化学液及高温DI水喷雾清洗装置及方法.pdfVIP

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  • 2023-04-16 发布于四川
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一种可调节化学液及高温DI水喷雾清洗装置及方法.pdf

    本发明涉及半导体装置清洗技术领域，尤其是一种可调节化学液及高温DI水喷雾清洗装置及方法。其包括化学液储存罐和高温DI水储水罐，所述化学液储存罐内设置有第一液位计，罐壁上设置有进液口、排液口和抽液口，且顶部还设置有排气口，所述抽液口连接有增压计量泵；所述高温DI水储水罐内设置有电加热器，罐壁上设置有进水口、排水口、抽水口和第二液位计，且顶部还设置有蒸汽出口，所述抽水口连接有增压计量泵，其中：所述增压计量泵通过三通管件分别与流量计和喷淋头连接，所述流量计和喷淋头之间还设置有压力表。本发明通过设置增压

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115837369 A (43)申请公布日 2023.03.24 (21)申请号 202210167184.5 (22)申请日 2022.02.23 (71)申请人 思恩半导体科技（苏

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