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一种调节成像光路夹角的改进装置.pdfVIP

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  • 2023-04-16 发布于四川
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一种调节成像光路夹角的改进装置.pdf

    本实用新型公开了一种调节成像光路夹角的改进装置，属于曝光技术领域。所述改进装置包括：DMD承载台，夹角旋转块和嵌入底座，还包括一同连接至夹角旋转块的倍率调节装置；夹角旋转块中空板的定位外圆嵌入底座的定位内圆中，夹角旋转块还包括伸长的板件(21)，板件(21)通过夹角螺杆(22)和弹性顶紧机构(23)连接，以通过调节夹角螺杆(22)而使夹角旋转块旋转。所述改进装置由于弹性顶紧机构(23)的设置，以及在夹角旋转块嵌入底座的定位外圆的圆周方向均布多个钢球(31)以限制其离心，从而在夹角调节时使得DMD

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215729279 U (45)授权公告日 2022.02.01 (21)申请号 202122196344.2 (22)申请日 2021.09.10 (73)专利权人 江苏影速集成电路装备股份有限

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