原创力文档- 2
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- 2023-04-16 发布于四川
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本实用新型涉及一种气动晶圆打点装置，此打点装置包括墨盒、墨盒座、墨盒驱动气缸、基座、墨盒座驱动气缸以及导轨，基座的右侧的上端安装有上第一气管，下端安装有墨盒座驱动气缸，墨盒座驱动气缸受控于第二气管，基座左侧安装有墨盒座，墨盒座下侧内穿插有导轨，上侧的墨盒座内安装有墨盒驱动气缸，墨盒驱动气缸用于驱动墨盒内的鱼线。在本实用新型中，通过墨盒座驱动气缸驱动墨盒座在导轨上左右移动，通过驱动墨盒驱动气缸驱动墨盒里的鱼线伸缩，将墨囊中的墨水通过鱼线点在晶圆上，通过墨盒座驱动气缸、墨盒驱动气缸驱动，提升了晶圆打
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215705169 U
(45)授权公告日 2022.02.01
(21)申请号 202122078704.9
(22)申请日 2021.08.31
(73)专利权人 南京维埃迪光电技术有限公司
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