一种真空镀膜机.pdfVIP

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  • 2023-04-16 发布于四川
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本实用新型公开了一种真空镀膜机,包括镀膜机本体和冷却装置,所述镀膜机本体设有内腔壁和外腔壁,所述内腔壁外侧设有用于实现于外腔壁固定连接的连接条,所述内腔壁与外腔壁之间设有空腔,所述外腔壁设有输出阀、输入阀和真空泵,所述输出阀和输入阀均与空腔连通,所述真空泵用于实现对空腔内的气压控制,所述冷却装置包括第一管道、第二管道、冷却箱、冷液箱和水泵,所述第一管道与输出阀连通,所述第一管道在远离输出阀的一端与冷却箱连通,所述冷却箱与冷液箱连通,所述冷液箱与第二管道连通,所述第二管道在远离冷液箱的一端与输入阀

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215713353 U (45)授权公告日 2022.02.01 (21)申请号 202122154588.4 (22)申请日 2021.09.07 (73)专利权人 东莞市优耐特纳米科技有限公司

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