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一种集成电路成膜光学检测结果标记装置.pdfVIP

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  • 2023-04-16 发布于四川
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一种集成电路成膜光学检测结果标记装置.pdf

    本实用新型涉及的是集成电路光学检测技术领域，尤其涉及一种集成电路成膜光学检测结果标记装置。包括固定底板、节流阀、滑轨气缸、标记笔支撑、标记笔、光源支撑、工业光学相机、工业相机固定板、镜头和光源；所述的光源支撑安装在固定底板一侧，工业相机固定板与固定底板固定连接，工业光学相机安装在工业相机固定板上，工业光学相机下部装有镜头，工业相机的镜头下部外周设置有光源；固定底板另一侧装有节流阀、滑轨气缸，所述的滑轨气缸活塞推杆下部装有标记笔。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215727786 U (45)授权公告日 2022.02.01 (21)申请号 202122216626.4 (22)申请日 2021.09.14 (73)专利权人 无锡博功科技有限公司

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