一种磁悬浮式分子泵.pdfVIP

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  • 2023-04-16 发布于四川
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本实用新型公开了一种磁悬浮式分子泵,包括机架、安装板、固定板、调节板、顶套板、拉紧螺杆、调节螺杆、方形滑杆、导向杆、千分表和分子泵主体,所述安装板固定安装在机架底部,顶套板套接固定安装在分子泵主体的卡槽内,所述分子泵主体下部置于调节板上,所述拉紧螺栓上、下两端分别通过锁母与顶套板、调节板锁紧固定连接。调节板可在‑3°~3°的范围进行调节,以实现对分子泵主体水平状态的微调,旋松第一压紧螺栓对方形滑杆进行调节,使千分表压接在调节板的底面上,再拧紧第一压紧螺栓对方形滑杆进行固定,在分子泵主体工作过程中

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215719614 U (45)授权公告日 2022.02.01 (21)申请号 202122173652.3 (22)申请日 2021.09.09 (73)专利权人 苏州宝晶新材料科技有限公司

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