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一种半导体生产化学气相淀积用化学品供应设备.pdfVIP

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  • 2023-04-16 发布于四川
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一种半导体生产化学气相淀积用化学品供应设备.pdf

    本实用新型公开了一种半导体生产化学气相淀积用化学品供应设备，涉及半导体生产技术领域，包括罐体，所述罐体的上表面固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的输出端贯穿罐体的上表面并延伸至罐体的内部，所述罐体的内壁滑动连接有第一活塞，所述电动伸缩杆的输出端固定连接于第一活塞上表面的中部，所述出气管外表面的右侧安装有减压机构，且出气管外表面的左侧安装有警示机构，所述罐体外表面的下部卡接有底座，所述底座的四个边角处均开设有螺纹孔。本实用新型设计结构合理，它能够通过设置减压机构，避免装置因内部气压过大而发生损坏

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215713363 U (45)授权公告日 2022.02.01 (21)申请号 202122321740.3 (22)申请日 2021.09.25 (73)专利权人 无锡恒大电子科技有限公司

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