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一种加热装置和镀膜设备.pdfVIP

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  • 2023-04-17 发布于四川
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一种加热装置和镀膜设备.pdf

    本实用新型公开一种加热装置和镀膜设备，涉及镀膜技术领域。用于提供一种能够对石墨舟中承载的硅片进行均匀加热，且不会对硅片的镀膜效果产生影响的加热装置。该加热装置包括加热腔体，以及设置在加热腔体上的加热件，石墨舟位于加热腔内；加热腔体的第一方向的长度，大于加热腔体的第二方向的长度；其中，加热腔体的第一方向为与石墨舟的宽度方向平行的方向，第二方向为与石墨舟的高度方向平行的方向；沿加热腔体的第一方向分布的部分加热腔体距离石墨舟的距离，小于沿加热腔体的第二方向的分布部分加热腔体距离石墨舟的距离。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215799883 U (45)授权公告日 2022.02.11 (21)申请号 202120974049.2 (22)申请日 2021.05.08 (73)专利权人 宁夏隆基乐叶科技有限公司

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