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- 2023-04-17 发布于四川
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本实用新型提供一种排液装置及化学机械研磨装置，所述排液装置包括一槽体，所述槽体的底部设置有一排液单元；一润湿单元，所述润湿单元设置于所述槽体内侧壁，所述润湿单元用以提供液体以润湿所述槽体的内壁及所述排液单元。本实用新型中，利用设置于槽体的内侧壁上的润湿单元，在更换研磨液或者研磨液过滤器时提供液体以润湿槽体的内侧壁及排液单元，用于稀释槽体内的研磨废液并及时排掉，无需后续手动冲洗槽体并具有较佳的清洗效果，从而提升更换研磨液操作的便利性。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215748565 U
(45)授权公告日 2022.02.08
(21)申请号 202122408552.4
(22)申请日 2021.09.30
(73)专利权人 上海新昇半导体科技有限公司
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