一种半导体行业氦气回收用有毒气体净化机构.pdfVIP

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2023-04-17 发布于四川
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一种半导体行业氦气回收用有毒气体净化机构.pdf

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本实用新型属于氦气回收技术领域，尤其是一种半导体行业氦气回收用有毒气体净化机构，针对背景技术提出的需要净化有毒气体的问题，现提出以下方案，包括第一净化器，所述第一净化器一侧设置有温控组件，且温控组件包括设置于第一净化器一侧的加热箱、通过导线连接于加热箱一端外壁上分控开关、通过导线连接于分控开关一侧外壁上的等距离分布的加热器。本实用新型通过温控组件中的加热器调节温度，可调节出毒气反应时的最适应温度，加快了毒气第一净化器、第二净化器和第三净化器中的液体发生反应速度，提高了反应的效率，净化后的氦气通过

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215742833 U (45)授权公告日 2022.02.08 (21)申请号 202122136508.2 (22)申请日 2021.09.06 (73)专利权人苏州咏昕恒能源科技有限公司