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- 2023-04-17 发布于四川
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本实用新型提供一种加热器水平调节装置,具有一平台,所述平台上具有螺栓连接孔,所述加热器水平调节装置还包括刻度显示尺、屏幕数显、螺栓和螺母;其中,所述螺栓连接所述平台、所述刻度显示尺和所述螺母;所述螺栓的螺头朝下;所述刻度显示尺和所述螺母位于所述螺栓的螺头和所述平台之间;所述屏幕数显用于显示所述刻度显示尺上数值变化。本实用新型提供的加热器水平调节装置能够提高设备的调节效率,减少调节次数,改善膜厚均匀性,降低部件损坏率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215757609 U
(45)授权公告日 2022.02.08
(21)申请号 202122377375.8
(22)申请日 2021.09.29
(73)专利权人 上海华力微电子有限公司
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