一种用于高深宽比结构扫描的单芯片原子力.pdfVIP

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2023-04-17 发布于四川
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一种用于高深宽比结构扫描的单芯片原子力.pdf

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本实用新型公开一种用于高深宽比结构扫描的单芯片原子力，包括探针组件和检测座，所述检测座上设有监控台和探测箱，所述探针组件位于探测箱内，所述探测箱上设有闭合盖，所述探测箱内设有探测区和线路连接孔，所述探测区上设有通孔，所述检测座的内部设有电机和原子力推动杆，所述电机上固定有连接架，所述原子力推动杆的升降端通过螺丝与连接架锁紧固定。本扫描探针组件通过电机和原子力推动杆可对扫描枕头连接的圆盘进行角度和位置调节，实现对物件不同位置的探测，有效的增强了设备功能性，解决了传统扫描针头连接结构局限的问题，避免

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215768641 U (45)授权公告日 2022.02.08 (21)申请号 202121973279.3 (22)申请日 2021.08.22 (73)专利权人上海纳腾仪器有限公司