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一种基于功率下降法的晶体生长炉.pdfVIP

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  • 2023-04-17 发布于四川
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一种基于功率下降法的晶体生长炉.pdf

    本实用新型公开了一种基于功率下降法的晶体生长炉，包括炉体，所述炉体底部设置有底盘，所述炉体内设置有加热器和原料坩埚，所述原料坩埚设置在坩埚底座上，所述坩埚底座设置在底盘上，所述底盘与真空装置连接，所述原料坩埚中部设置有隔离套筒，所述原料坩埚内部与隔离套筒外壁之间配合形成环形生长空间，所述加热器一端与加热电极连接，另一端伸入隔离套筒内设置并对环形生长空间进行加热。本实用新型加热效果好，制备成本低，能够大批量生产，保证生长品质。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215757721 U (45)授权公告日 2022.02.08 (21)申请号 202122361045.X (22)申请日 2021.09.28 (73)专利权人 秦皇岛本征晶体科技有限公司

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